专利减少由于内应力拉伸使得基座本体表面出现破裂的可能j9九游会真人第一品牌北京凯芯新材料科技取得一种基座

　　国家知识产权局信息显示▼○••，申请日期为2024年3月▽▲◁▪▽。金融界2024年11月23日消息••○●◁▼，北京凯芯新材料科技有限公司取得一项名为▪▲“一种基座△▪●▷”的专利△•△，授权公告号 CN 222029053 U▼■，

　　专利摘要显示j9九游会真人第一品牌-◁□○，本申请涉及半导体制作的技术领域●★，提供了一种基座…◆◇，其包括基座本体▲△•△，所述基座本体的上表面绕自身轴线开设有环形凹槽▲■□○□▼，所述基座本体的上表面开设有连通于环形凹槽的定位卡槽◇□◇。本申请通过设置的环形凹槽•△▲◆，对通过保温桶热传导到基座本体上的热量所引起的内应力▲▷，在环形凹槽内进行释放■☆★，减少由于内应力拉伸◇◇●，以使得基座本体靠近于保温桶的表面出现破裂的可能j9九游会真人第一品牌…•◆☆•，以延长该基座本体的使用寿命○◆◇•=…；以及通过设置的定位卡槽▽▲，以使得保温桶和基座同轴转动•○▽▼◇，进而以对放置在保温桶上的多个半导体衬底同轴转动的有益效果△○○◆。